Erik Loopstra (NL) et Vadim Banine (NL/RU)
Lithographie par ultraviolets extrêmes

L'invention

Plus petites, plus rapides et plus efficaces, les micropuces de la prochaine génération sont dotées de transistors qui ne font que 5 nanomètres. Elles sont fabriquées à l'aide d'un nouveau procédé de photolithographie mis au point par une équipe composée du Néerlandais Erik Loopstra et du Russo-Néerlandais Vadim Banine.

Pour en savoir plus, rendez-vous sur www.epo.org