Erik Loopstra (NL) und Vadim Banine (NL/RU)
Extrem ultraviolette Lithographie

Über die Erfindung

Die kleineren, schnelleren, effizienteren Mikrochips der nächsten Generation haben Schaltungen von gerade einmal 5 nm. Zu verdanken sind sie einer neuen Lichtquelle und einem Lithographieverfahren, das von einem Team um den Niederländer Erik Loopstra und den niederländisch-russischen Erfinder Vadim Banine entwickelt wurde.

Näheres unter www.epo.org